ZhenAn, какви са основните методи, които обикновено се използват за тестване на зърното на целевия материал?

ZhenAn, какви са основните методи, които обикновено се използват за тестване на зърното на целевия материал?

Целевите материали обикновено са поликристални, с размери на зърната, вариращи от микрони до милиметри. Колкото по-фини са зърната, толкова по-голяма е граничната площ на зърната и толкова по-голямо е въздействието върху производителността. За един и същ материал на мишената мишените с фини зърна имат по-бърза скорост на разпръскване от мишените с едри зърна. Мишените с по-малки вариации на размера на зърното (равномерно разпределение) произвеждат по-равномерно разпределение на дебелината в разпръснати филми. Изследванията са установили, че ако размерът на зърното на титанова мишена се контролира под 100 μm и вариацията в размера на зърното се поддържа в рамките на 20%, качеството на получения разпръснат филм може да се подобри. Значително подобрение.

Три основни метода за тестване на целевия размер на зърното
1. Метод на сравнение: Методът на сравнение не изисква броене на зърна или отсечки. Когато се сравнява със стандартна серия от рейтингови диаграми, оценката на размера на зърната, използвайки метода за сравнение, обикновено показва известна степен на отклонение (±0,5 нива). Възпроизводимостта и възпроизводимостта на оценените стойности обикновено са ±1 ниво.

2. Метод на площта: Методът на площта отчита броя на зърната в рамките на известна площ и използва броя на зърната на единица площ, за да определи степента на размера на зърното. Точността на този метод е функция на изчисления размер на зърното и с правилно броене може да се постигне точност от ±0,25 нива. Резултатите от метода на площта са безпристрастни, с възпроизводимост от по-малко от ±0,5 нива. Ключът към определянето на размера на зърната с помощта на метода на площта се крие в преброяването на зърната, които ясно разграничават границите на зърната.

3. Метод на пресичане: Броят на пресичанията се изчислява чрез преброяване на броя на пресичанията, при които сегмент от тестова линия (или мрежа) с известна дължина пресича границите на зърната. Степента на размера на зърното се определя с помощта на броя на отсечките за единица дължина. Точността на метода на прихващане е функция от броя на изчислените прихващания или прихващания и може да бъде постигната чрез ефективен статистически анализ. ±0,25 точност на нивото. Резултатите от измерването с метода на прихващане са без отклонения-и възпроизводимостта и възпроизводимостта са по-ниски от ±0,5 ниво. За същото ниво на точност методът на прихващане не изисква точно маркиране на точките на прихващане или номерата на прихващане, така че е по-бърз от метода на площта.