Танталови целиобикновено се предлагат под формата на дискове или правоъгълни плочи, но могат да бъдат направени и в различни форми и размери в зависимост от специфичните изисквания на приложението. Основните му структурни характеристики включват:
Висока чистота: обикновено повече от 99,9%, понякога дори до 99,999%. Високата чистота гарантира, че не се въвеждат нежелани примеси по време на процеса на отлагане на тънък слой.
Еднородност: Танталовите мишени трябва да имат еднаква микроструктура, за да се осигури равномерно разпределение на материала по време на отлагането на тънък слой.
Висока плътност: Еднаквостта на плътността е от решаващо значение за осигуряване на стабилност по време на отлагане.