Волфрамовите мишени се използват широко в много области, включително производство на полупроводници, устройства с източници на разцепване на неутрони, процеси на фотолитография, технология за отлагане на тънък слой, устройства за ядрен синтез и др.
Приложение в производството на полупроводници
В производството на полупроводници волфрамовите мишени се използват главно във фотолитографски процеси и технология за отлагане на тънък слой. Високата плътност, високата твърдост и ниската химическа реактивност на волфрамовите мишени им позволяват да осигурят прецизен контрол върху ецването по време на плазмено ецване, да намалят ненужната загуба на материал и да гарантират фиността и целостта на моделите на веригата. В технологията за отлагане на тънък слой волфрамовите цели се формират в плътни филми чрез физическо отлагане на пари (PVD) и химическо отлагане на пари (CVD). Тези филми имат висока твърдост и устойчивост на износване, което подобрява механичната якост и издръжливостта на полупроводниковите устройства. В същото време тяхната висока проводимост и нисък импеданс спомагат за подобряване на ефективността на токова проводимост и намаляване на консумацията на енергия.
Приложение в източници на разцепващи неутрони
Волфрамовите мишени също играят ключова роля в устройствата с източници на разцепване на неутрони. Източниците на разкъсващи се неутрони произвеждат неутрони чрез бомбардиране на тежки атомни ядра с високоенергийни протони, които се използват за изследване на микроструктурата и динамичните свойства на материята. Волфрамът се е превърнал в предпочитан материал за устройства за ядрен синтез и източници на неутронни разцепвания поради високата си точка на топене, висока топлопроводимост и ниска скорост на разпръскване. Източниците на разкъсващи се неутрони могат да осигурят по-широк неутронен енергиен спектър, разширявайки обхвата на научното изследване на неутроните, особено в науката за материалите. Прилагането на волфрамови мишени прави възможно изучаването на материали за съхранение на водород, закони за реакция на батерията и разработване на нови материали.









