Какво е метална мишена?

Какво е метална мишена?

Целевият материал е един от основните материали за получаване на тънки филми. Използва се главно в интегрални схеми, дисплеи с плосък панел, слънчеви клетки, носители за запис, смарт стъкло и др., и има високи изисквания за чистота и стабилност на материала.

Принцип на работа на целевия материал за разпрашаване: Разпрашването е една от основните технологии за приготвяне на тънкослойни материали. Той използва йони, генерирани от източник на йони, за да ускори и да се събере във вакуум, за да образува високо-бърз енергиен йонен лъч за бомбардиране на твърдата повърхност. Йоните и атомите на твърдата повърхност обменят кинетична енергия, карайки атомите на твърдата повърхност да напуснат твърдото вещество и да се отложат върху повърхността на субстрата. Бомбардираното твърдо вещество е материалът за разпръскваща цел.

Тенденцията за развитие на целевите материали е: висока скорост на разпръскване, контрол на ориентацията на зърното, голям размер и метал с висока-чистота.

Целевият материал е заварен от "целева заготовка" и "задна плоча".

(1) Целевата заготовка е целевият материал, бомбардиран от високо-йонния лъч. Това е основната част от материала за целта за разпрашаване и включва метал с висока-чистота и контрол на ориентацията на зърната. По време на процеса на нанасяне на разпръскващо покритие, след като целевата заготовка бъде ударена от йони, нейните повърхностни атоми се разпръскват и разпръскват и се отлагат върху субстрата, за да образуват електронен тънък филм.

(2) Задната плоча играе основна роля при фиксирането на целта за разпръскване, което включва процеси на заваряване. Тъй като металите с висока -чистота имат ниска якост, целта за разпръскване трябва да бъде инсталирана в специална машина, за да завърши процеса на разпрашаване. Машината е в среда с високо-напрежение и висок-вакуум. Следователно заготовката за мишена за разпръскване от метал с ултра-висока-чистота трябва да бъде свързана към задната плоча чрез различни процеси на заваряване. Задната плоча трябва да има добра електрическа и топлопроводимост.